簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Bohr-Ran Huang".ecommittee (精準) and year="93"


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    矽奈米線形成之元件製作
    • 電子工程系 /93/ 碩士
    • 研究生： 李東林   指導教授： 莊敏宏
    • 由於線寬縮小達到奈米尺寸的需要，奈米結構與材料近年來被廣泛的研究與討論著。化學氣相沉積和電子束微影技術是目前最常用來製作矽奈米線的方法。其中，化學氣相沉積法須通入silane等危險易爆氣體。此篇介紹…
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